Messsysteme f¨¹r Fl?chenwiderstand
Messsysteme f¨¹r Fl?chenwiderstand
Die ?berwachung des Fl?chenwiderstands ist f¨¹r jede Branche von entscheidender Bedeutung, die leitf?hige Filme verwendet, von der Halbleiterherstellung bis hin zur flexiblen Elektronik, die f¨¹r tragbare Technologien erforderlich ist. Die Filmetrics? R-Serie zur Messung des Fl?chenwiderstands wurde auf der Grundlage von ¨¹ber 45 Jahren Innovationen bei der Messung des Fl?chenwiderstands entwickelt. Seit der Einf¨¹hrung unseres ersten Widerstandsmessger?ts im Jahr 1975 haben wir sowohl die Fl?chenwiderstandsmessung als auch die Schichtdickenmessung f¨¹r leitf?hige Schichten revolutioniert.
Filmetrics? R50-4PP Vierpunkt-Messsondensystem und Filmetrics R50-EC Wirbelstromsystem
Die kontaktbasierten Vierpunkt-Sondensysteme Filmetrics R50-4PP und die ber¨¹hrungslosen Wirbelstromsysteme Filmetrics R50-EC messen Metallschichtdicke, Fl?chenwiderstand, Resistivit?t und Leitf?higkeit.
Dank seines gro?en Z-Verfahrwegs eignet sich das R50-4PP ideal f¨¹r eine Vielzahl von Anwendungen. Das R50-EC-System eignet sich ideal zur Messung von Fl?chenwiderstand und Filmdicke auf empfindlichen und/oder flexiblen leitf?higen Oberfl?chen.
Filmetrics? R54-200 und Filmetrics R54-300 ¨C Systeme zum Mappen von Fl?chenwiderst?nden
Die Systeme der Filmetrics?-R54-Serie bieten die Performance des Filmetrics R50 in einem lichtdichten Geh?use mit zus?tzlichen Funktionen. Lichtsensitive Halbleiter- und Verbindungshalbleiteranwendungen werden unterst¨¹tzt, einschlie?lich Implantations- und Epitaxie-Wafern.
Die beiden R54 Probentischkonfiguration k?nnen Wafer von bis zu 200mm und 300mm Durchmesser aufnehmen und werden entweder als kontaktbasierte Vierpunktsonde (R54-4PP) oder als ber¨¹hrungslose Wirbelstromsysteme (R54-EC) konfiguriert.
Zeitleiste der Innovation
Unsere Innovationsgeschichte und unser umfangreiches Fachwissen haben zu einem breiten Portfolio an Mess- und Inspektionsl?sungen f¨¹r alle Anforderungen und Umgebungen gef¨¹hrt. Erfahren Sie, wie alles begann ¨C von der Einf¨¹hrung der Alpha-Step
Erfahren Sie, wie unsere Produkte Ihnen helfen k?nnen.
Entdecken Sie weitere L?sungen
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Instruments Gruppe
F¨¹r Branchenexperten, Akademiker und andere Innovatoren bietet Íæż½ã½ã Instruments vertrauensw¨¹rdige Messl?sungen und Fehlerpr¨¹fung, die weltweit bahnbrechende Technologien erm?glichen.
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Filmetrics? Schichtdickenmesssysteme
Die Filmetrics?-Schichtdickenreflektometer messen Dicke und Brechungsindex transparenter Filme in Sekundenschnelle ¨C sowohl f¨¹r Labor- als auch f¨¹r Produktionsumgebungen.
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Optische Profiler Filmetrics? und Zeta?
Die optischen Profilometer Filmetrics? Profilm3D? und Zeta? bieten schnelle, ber¨¹hrungslose L?sungen f¨¹r 3D-Messungen von Stufenh?he, Rauheit und anderer Oberfl?chen-Topografie, wobei Interferometer- und ZDot?-Messverfahren f¨¹r F&E- und Produktionsumgebungen genutzt werden.
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Die optischen Profilometer Filmetrics? Profilm3D? und Zeta? bieten schnelle, ber¨¹hrungslose L?sungen f¨¹r 3D-Messungen von Stufenh?he, Rauheit und anderer Oberfl?chen-Topografie, wobei Interferometer- und ZDot?-Messverfahren f¨¹r F&E- und Produktionsumgebungen genutzt werden.