Filmetrics? F3-sX Serie zur Messung der Filmdicke

玩偶姐姐 Instruments|

Produktsprache:

Filmetrics^? F3-sX Serie zur Messung der Filmdicke

Unsere neueste Produktlinie zur Messung von Halbleiter- und dielektrischen Schichten mit einer Dicke von bis zu 3 mm.

Broschüre herunterladen Kontaktieren Sie uns (858) 573-9300

Produktbeschreibung

Die F3-sX-Familie misst Halbleiter- und dielektrische Schichten mit einer Dicke von bis zu 3 mm. Solche dicke Schichten sind tendenziell rauer und weniger einheitlich als dünnere Schichten, denen das F3-sX mit einem Messfleck von 10 ?m Durchmesser begegnet. Messraten von bis zu 1 kHz machen den F3-sX zudem zur ersten Wahl für viele Inline-Anwendungen (z. B. Rolle-zu-Rolle-Prozesse).

Produktmerkmale

Misst Materialien mit einzigartigen eigenst?ndigen Anforderungen, die mit anderen Instrumenten schwer zu messen sind.
Das Systempaket umfasst eine integrierte Spektrometer-/Lichtquelleeinheit, FILMeasure-Software, eine Einzelpunktmesstisch mit einer Spotgr??e von 10 ?m, Si-Reflexionsstandard und die eigenst?ndige Software FILMeasure für Remote-Datenanalyse
Ergebnisse verfügbar im Bruchteil einer Sekunde
Integrierte Online-Diagnose
Intuitive Analysesoftware im Lieferumfang enthalten
Erweiterte History-Funktion zum Speichern, Reproduzieren und Darstellen von Ergebnissen
24 Stunden (Mo–Fr) Telefon-, E-Mail- und Online-Support durch Anwendungsingenieure

Anwendungen

Dicke des Si-Wafers
Konforme Beschichtungen
IC-Fehleranalyse
Dicker Fotolack (z. B. SU-8)

Branchen

Halbleiter
Verbundhalbleiter
Beschichtungen

W?hlen Sie das richtige Filmetrics F3-sX-Ger?t für Ihre Schichtdickenmessungen

Die F3-sX-Serie verwendet Nahinfrarotlicht (NIR), um die Schichtdicke zu messen – sogar viele Schichten, die für das Auge undurchsichtig sind (wie Halbleiter). Die Version mit einer Wellenl?nge von 980 nm, die F3-s980, wurde für kostensensible Anwendungen entwickelt. Der F3-s1310 ist für die Messung von stark dotiertem Silizium optimiert, w?hrend der F3-s1550 für die dicksten Schichten gedacht ist.

Diagram showing wavelength ranges of Filmetrics F3-sX instruments

Modell	Schichtdickenbereich*	Wellenl?ngenbereich
F3-s980	10?m – 1mm	960 – 1000nm
F3-s1310	15?m – 2mm	1280 – 1340nm
F3-s1550	25?m – 3mm	1520 – 1580nm

*Abh?ngig vom Filmstapel

Fehleranalyse für integrierter Schaltkreise (IC)

FA-Techniken (Fehleranalyse) werden verwendet, um die Ursache eines Fehlers in integrierten Schaltkreisen zu lokalisieren und zu identifizieren.

Rückseitige Verdünnung: Rückseitige IC-FA erfordert, dass der Gro?teil der Dicke des Si-Dies entfernt wird, bevor der Schaltkreis abgebildet werden kann, und dass die Dicke des verbleibenden Si nach jedem Verdünnungsschritt bekannt ist. Das Filmetrics F3-s1550-System wurde speziell für Chiphersteller entwickelt, um die Herausforderung zu meistern, die Dicke rauer Si-Schichten zu messen, die aus verschiedenen rückseitigen Verdünnungsprozessen resultieren.

Messung der Fotolackdicke

Mehrere Einzelpunkt-Tisch- und Mapping-Tools wie Filmetrics F20, Filmetrics F3-sX und Filmetrics F50/F60-t messen die Fotolackdicke und die ?tzrate von einschichtigen, mehrschichtigen und sogar freistehenden Fotolackfilme. Alle Filmetrics-Modelle messen die Widerstandsdicke (und den Index) durch eine pr?zise Modellierung der spektralen Reflexion. Spezielle propriet?re Algorithmen erm?glichen eine robuste Analyse mit nur einem Klick, wobei Ergebnisse normalerweise in weniger als einer Sekunde verfügbar sind. Die Messung der Dicke von SU-8, Dow BCB und anderen dicken Fotolacken sind beliebte Anwendungen für die Filmetrics-Produktlinie.

Messung der Siliziumscheibe und Membrandicke

Die Filmetrics^?-Systeme umfassen Tisch-, Mapping- und Produktionssysteme zur Messung der Dicke von Siliziumscheiben und Membran. Zu den üblicherweise gemessenen Wafermaterialien z?hlen einfach oder doppelt poliertes Si (Silizium), Saphir, Quarzglas, SiC, LiTaO₃, GaN und Glas.

Unsere technischen Experten k?nnen Ihnen helfen, das beste Filmetrics-Tool zu finden, für die Anforderungen Ihrer Dickenmessung zu finden. Dazu geh?ren z. B. die Notwendigkeit verschiedener Schichtdickenbereiche oder eine Einzelpunktmessung im Vergleich zu einem Schichtdickenmapping usw.

Parylene-Beschichtungen

Die Filmetrics^?F20, F40 und F3-CS Schichtdickenmessger?te werden zur Messung der Dicke und Gleichm??igkeit von Parylene-Beschichtungen eingesetzt, die aufgrund ihrer einzigartigen Eigenschaften in der biomedizinischen Industrie h?ufig eingesetzt werden.

PDF herunterladen

Beschichtungsst?rke für medizinische Ger?te

Die Filmetrics^? F20 und F40 Schichtdickenmessger?te verwenden spektrale Reflexionstechnologie zur Messung der Schichtdicke verschiedener Beschichtungsarten, die in medizinischen Ger?ten verwendet werden. Diese Diskussion umfasst die Messung der Dicke einer pharmakologischen Beschichtung eines medizinischen Stents, die Dicke einer Polymerdrahtbeschichtung und die Wandst?rke eines Angioplastieballons.

PDF herunterladen

Wie viele Schichten kann man messen?

Mit dem Filmetrics^? F10-RT-UVX wurde ein mehrschichtiger dielektrischer Stapel aus unbekannten Materialien gemessen. Dabei wurde nicht nur die Anzahl der Schichten und der Brechungsindex des Materials mit hohem Index ermittelt, sondern auch die Dicke jeder einzelnen Schicht.

PDF herunterladen

Gro?fl?chige Charakterisierung von Graphen mittels spektroskopischer Reflektometrie

Das Filmetrics^? F10-RT Schichtdickenmessger?t wurde verwendet, um den Brechungsindex von Graphen zu messen, indem gleichzeitig Reflexions- und Transmissionsspektren erfasst wurden. Das Schichtdicken-Mapping-Tool F50 wurde verwendet, um die Gleichm??igkeit von Graphen-Mono- und -Doppelschichten über einen gesamten Wafer zu messen und abzubilden.

PDF herunterladen