Produktbeschreibung
Die Filmetrics? F60-c-Serie erweitert die Schichtdicken- und Index-Mapping-Funktionen der F50-Serie um mehrere Funktionen, die speziell f¨¹r Produktionsumgebungen entwickelt wurden. Dazu geh?ren automatische Notch-Suche, automatisches On-Board-Baselining, eine geschlossene Messstufe mit Bewegungssperre und ein Industriecomputer mit vorinstallierter Software.
Der ¨¹berarbeitete F60-c verbessert die Automatisierungsf?higkeit der F60-c-Serie durch ein automatisiertes Kassette-zu-Kassette-System, das einen einfachen Wechsel zwischen Wafergr??en erm?glicht. Dieses System eignet sich ideal f¨¹r die Qualifizierung eingehender und ausgehender Prozessger?te sowie f¨¹r die Qualit?tskontrolle von Chemikalien.
Produktmerkmale
- Branchenf¨¹hrende Schichtdickenmesstechnologie
- Intuitive Analysesoftware ist Standard in jedem System
- Integrierte Diagnose-Optionen
- Bibliothek mit ¨¹ber 130 Materialien, die in jedem System enthalten sind
- Telefon, E-Mail und Online-Support rund um die Uhr durch hochqualifizierte Applikationsingenieure
- Das Systempaket umfasst eine integrierte Spektrometer-/Lichtquelleneinheit, einen Schichtdickenstandard TS-SiO2-8-8000, 6-Zoll- und 200-mm-Wafer-Reflexionstandard und vieles mehr!
Anwendungen
- Automatische Messung der Schichtdicke mit einem Kassette-zu-Kassette-System, das problemlos zwischen Wafergr??en wechseln kann
- Mapping von n & k
Branchen
- Halbleiter
- Verbundhalbleiter
- Stromversorungssger?te
- MEMS und optische Elektronik
- Datenspeicherung
- 5G-Anwendung
Weitere Details finden Sie auf der RegisterkarteBranchen.
