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製品説明

Filmetrics Profilm3DおよびFilmetrics Profilm3D-200は、サブナノレベルの分解能で高精度な表面形状測定を行います。これらのシステムは、垂直走査白色干渉法と位相シフト干渉法の両方に対応しています。 位相シフト干渉法（PSI）と垂直走査白色干渉法（WLI）と組み合わせることにより、大きなZ方向の変化があってもPSIによる表面の測定が可能です。Profilm3Dは、TotalFocus^?テクノロジーを適用し、全ピクセルにフォーカスを合わせた美しい自然な３Dカラー画像を生成します。最新のProfilm3D 白色干渉式表面形状測定システムは、より粗い表面やより大きな傾斜、より低反射の表面を測定するために「高精度粗さイメージング（Enhanced Roughness Imaging）」機能を搭載しています。

Profilm3Dの測定技術では、垂直分解能が対物レンズの開口数（NA）に依存しないため、広い視野でも高いZ分解能で測定が可能です。 複数の視野をつなぎ合わせるスティッチング機能で、測定エリアをさらに拡大できます。 Profilm3D光学式表面形状测定システムは、シンプルで革新的なユーザーインターフェイスと自動化機能を備え、研究開発から生産現場まで幅広い分野をサポートします。

特徴

• 垂直走査白色干渉法および位相シフト干渉法により、ナノメートルからミリメートルまでの表面形状を测定
• TotalFocus 3Dイメージングにより、全測定範囲で各ピクセルに焦点を最適化し 実際のサンプル色を再現
• トゥルーカラー画像は、実际のサンプル色を再现し、微细な特徴や埋もれた构造の可视化を强化します。
• 粗さ强化モード（贰搁惭）は、レンズなどの倾斜面でフリンジコントラストを高め、形状の再现性を向上させるとともに、粗い表面からの信号も改善します。
• 业界トップクラスの长い移动范囲のピエゾを备えたオートフォーカスにより、高低差の大きい复数の表面をスキャンできます。
• 长い移动范囲を备えた自动齿-驰ステージは、マッピングやスキャンのステッチングに适しています。

アプリケーション

• 段差：ナノメートルからミリメートルまでの3顿段差测定
• テクスチャと形状：3顿粗さ、うねり、湾曲、形状
• テクスチャ评価
• エッジロールオフ：3顿エッジプロファイルの测定
• 欠陥评価：3顿欠陥表面形状の取得と欠陥の特性评価
• 高解像度スキャン：広范囲の透明膜表面の高解像度スキャン
• 粗さ?低反射?スクラッチの评価

业界

• 大学、研究所、研究机関
• シリコンおよび化合物半导体
• 精密光学および精密机构
• 医疗机器
• 尝贰顿：発光ダイオード
• パワーデバイス
• 惭贰惭厂：マイクロエレクトロメカニカルシステム
• データストレージ
• 自动车
• その他：ご要望がございましたらお问い合わせください