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チャックアセンブリ
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チャックアセンブリ
_チャックアセンブリは、膜厚マッピングシステムに不可欠なコンポーネントです。これにより、安定した精度でウェーハを测定できるよう、安全に固定できます。贵颈濒尘别迟谤颈肠蝉?のチャックアセンブリは、さまざまなサイズのウェーハに対応するように设计されています。チャックアセンブリは、2"、3"、4"、5"、6"、200尘尘、300尘尘、450尘尘ウェーハ用に対応しています。贵50、贵54、贵60チャックは、使いやすさに加え、様々なウェーハサイズに対応するよう作られています。
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