Wafer Chucks
_Wafer Chucks
_Wafer Chucks sind ein unverzichtbarer Bestandteil von Systemen zur Schichtdicken-Mapping. Sie bieten eine stabile und sichere Basis, in der Ihre Wafer mit gleichbleibender Genauigkeit gemessen werden k?nnen. Die Wafer Chucks von Filmetrics? sind so konzipiert, dass sie Wafer unterschiedlicher Gr??e aufnehmen k?nnen. Die Wafer Chucks sind f¨¹r 2¡°, 3¡°, 4¡°, 5¡°, 6¡°, 200 mm, 300 mm und 450 mm Wafer ausgelegt. Die Wafer Chucks von den F50, F54 und F60 Messger?ten sind kompatibel mit vielen Wafergr??en und erm?glichen eine einfache Bedienung.
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F50Chuck-100mm
F50 Chuck-Baugruppe f¨¹r 2", 3" und 4" Wafer.
F50Chuck-200mm
F50 Chuck-Baugruppe f¨¹r 4", 5", 6" und 200 mm Wafer.
F50Chuck-300mm
F50 Chuck-Baugruppe f¨¹r 4", 5", 6", 200 mm und 300 mm Wafer.
F50Chuck-450mm
F50 Chuck-Baugruppe f¨¹r 4", 5", 6", 200 mm, 300 mm und 450 mm Wafer.
F50Chuck-Custom
F¨¹r den F50 sind kundenspezifische Chucks erh?ltlich, gew?hnlich innerhalb von vier Wochen
F60Chuck-200mm
F60 Chuck-Baugruppe f¨¹r 4", 5", 6" und 200 mm Wafer.
F60Chuck-300mm
F60 Chuck-Baugruppe f¨¹r 4", 5", 6", 200 mm und 300 mm Wafer.