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半导体：アモルファスシリコン（a-Si）および多結晶シリコンの測定

Filmetrics F20を使用すれば、アモルファスシリコンおよび多結晶シリコンの光学定数（nおよびk）を測定できます。このシステムには、マウスを1回クリックするだけで、基板の厚さ、シリコン層の厚さ、および層間のSiO₂の厚さ等を測定?表示する高度な測定機能が搭載されています。 また、Siウェーハの厚さなどのサンプル測定をお試しいただけます。結果は通常、数日程度でご連絡します。

半导体：誘電体膜の特性評価

誘電体膜を正確に測定することは、エレクトロニクス业界にとって極めて重要です。 Filmetrics測定システムで測定されている最も一般的な誘電体の測定値は次のとおりです。

二酸化シリコンの厚さ：厂颈翱₂膜の膜厚は、贵颈濒尘别迟谤颈肠蝉システムにより、3苍尘から1尘尘の范囲で测定可能です。

窒化シリコン（厂颈₃N₄）の屈折率：膜厚と併せて窒化シリコンの屈折率を测定することで、厂颈₃N₄膜の特性評価が数秒で可能です。 誘電体の測定用途につきましは、弊社にお问い合わせ下さい。また、是非サンプル測定をお試し下さい。

ディスプレイ：滨罢翱膜の膜厚

屈折率の正確な測定値を用いて、酸化インジウム錫（ITO）およびその他の透明導電性酸化物（TCO）の膜厚を測定します。 Filmetricsのシステムでは、ポリイミド、ハードコート、液晶、OLED層、発光層、注入層、バッファ層、カプセル化層を含む液晶層を測定できます。

バイオメディカルコーティングの厚さ测定

Filmetricsのシステムを用いて、カテーテルや血管形成術バルーン、ステント、ガイドワイヤー、針、その他インプラントなど、バイオメディカルアプリケーション用のコーティングの厚さをワンクリックで測定できます。多くの場合、これらのデバイスには腐食から保護するバイオメディカルコーティングが施されていますが、その他にも組織外傷、感染、拒絶反応などの合併症から守るためのコーティングが施されているものもあります。 ドラッグデリバリー用コーティングの厚さ測定も一般的なアプリケーションです。 Filmetricsのシステムは、非破壊的でサンプル準備を必要とせず、素早く信頼性の高い厚さ測定を提供します。

ディスプレイ：OLED 計測

有機発光ダイオード（OLED）は、携帯電話やテレビを含む多くのディスプレイデバイスに使用されています。 OLEDディスプレイを構成する多数の薄膜の厚さは非常に重要であり、OLEDの厚さを効果的に測定するには、非接触測定システムが必要です。 当社のF20-UV、F40-UV膜厚測定システム、およびF10-RT-UV反射透過膜厚測定システムでは、シンプルなプロトタイプのデバイスやフルピクセルディスプレイの安価で堅牢な非接触測定が行えます。 当社の測定装置は分光測定システムであるため、空気に敏感な材料で発生する化学的な変化を検出することもできます。 また、OLEDフィルムサンプルの厚さ測定もお試し頂けます。

半导体：フォトレジスト膜厚測定

Filmetrics F20、Filmetrics F3-sX、Filmetrics F50/F60-tなどの卓上のシングルスポット測定システムおよび自動マッピング膜厚測定システムは、単層、多層、さらには自立型レジストフィルムの厚さや、エッチングレートを測定します。 Filmetricsのすべてのモデルは、分光反射率を正確にモデリングすることで、レジストの厚さ（および屈折率）を測定します。 独自の特殊アルゴリズムにより、堅牢な「ワンクリック」解析が可能で、通常は1秒未満で結果が得られます。 SU-8、Dow BCB、その他の厚膜フォトレジストの測定は、Filmetricsのラインナップで人気のアプリケーションです。

多孔质シリコン薄膜测定

多孔质シリコンは、光学デバイス、ガスセンサー、生物医学デバイスなど、さまざまな用途で広く使用されています。

多孔質薄膜の測定には、層厚と空隙率が含まれます。 一般的に、質量測定などの非破壊的方法を使用して空隙率を測定しますが、この方法の精度は非常に低いです。 F20、F40、F50などのFilmetrics^?の测定システムでは、マウスを1回クリックするだけで、多孔质シリコンの层厚、指数、空隙率を明らかにする独自の分析アルゴリズムを提供します。

半导体プロセスフィルムの测定

Filmetrics^?は、非金属半导体プロセスフィルムの厚さと屈折率を测定するための幅広い机器とシステムを提供しています。

数多くご使用頂いているFilmetrics F20膜厚測定システムは、膜厚と光学定数のシングルスポット測定に最適で、かつ最もお手頃な価格のソリューションです。

Filmetrics F40顕微镜式膜厚测定システムは、小さいスポットサイズ（最小1ミクロン）の膜厚测定用で、顕微镜に取り付けて使用します。

Filmetrics F50自动マッピング膜厚测定システムは、膜厚を正确に测定し、ブランケットフィルムの膜厚を多点で自动的にマッピングします。

小さなスポット径とパターン认识を必要とする製品ウェーハの测定の场合、例外としてFilmetrics F54-XYが选択肢となります。

当社の特許取得済みのイメージング技術により、従来の薄膜計測ツールよりもセットアップが容易になり、レシピが少なくなり、パターン認識が堅牢になり、コストが大幅に削減されます。 スタンドアロンバージョンとインテグレーテッドバージョンの両方が提供されています。

シリコンウェーハおよび膜厚の测定

Filmetrics^?のシステムには、シリコンウェーハの厚さ测定および膜厚测定用に、卓上型、マッピング型、生产用システムがあります。一般的によく测定されるウェーハ材料には、単一研磨または二重研磨厂颈（シリコン）、サファイア、溶融シリカ、厂颈颁、尝颈罢补翱₃、骋补狈、ガラスが含まれます。

当社の技术者が、様々な膜厚测定范囲のニーズや、シングルスポット测定かマッピングの要件など、お客様のニーズに合った最适な贵颈濒尘别迟谤颈肠蝉システムを见つけるお手伝いをいたします。

太阳电池测定

Filmetrics^?F20 膜厚測定システムは、3種類全ての太陽電池活性層の膜厚と光学定数を測定するために、数十社の薄膜太陽電池（TFPV）メーカーで使用されています。 Filmetricsの専門家は、TCOの上にある太陽電池の活性層を測定するために、インハウスおよびガラス供給業者の単層または多層TCO層の特性評価に豊富な経験を有しています。

また、ポリイミド、反射防止コーティング、フォトレジストを含むフィルムの测定には、卓上型、マッピング型、またはインライン型のソリューションも提供しています。

半导体製造教育用ラボ

Filmetrics F20膜厚測定システムは、世界中の教育ラボで使用されており、工学部の学生に分光反射率の原理を教えています。教育ラボで使用される場合、大学向けの特別価格のシステムを提供しています。

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ウェブ膜厚测定およびポリマー膜厚测定

プラスチックおよびポリマーの製造では、プラスチックフィルムの厚さとポリマー膜の厚さが品質にとって重要なポイントがいくつかあります。 これらには、全膜厚（最大1mm）、共押出しサブレイヤー厚、およびウェブ厚測定が含まれます。 PETコーティングの場合、F20-UVを使用して膜厚を測定できます。 非常に薄い層（?10nm）や高エネルギープラズマ表面処理も測定できます。 標準のF20システムでは、厚さ0.05～50μmのハードコートなど、一般的なコーティングの測定が可能です。

当社は、笔贰罢、ポリカーボネート、セルロース系、ポリオレフィンなどの各种ポリマーフィルムに加え、导电性ポリマーなどの特殊材料も含む、広范囲に渡る屈折率データベースを保有しています。

これらのアプリケーションにはそれぞれ特有の课题がありますが、当社は适切なウェブ厚およびポリマー膜厚测定ソリューションを提供するためのソフトウェア、ハードウェア、そしてアプリケーションに関する豊富な知见を有しています。