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フォトレジストの厚さ测定

F3-sX、Filmetrics F50およびFilmetrics F60-tなどの卓上式のシングルスポットもしくはマッピング測定システムは、単層、多層、さらには自立型フォトレジストフィルムのフォトレジストの厚さとエッチングレートを測定します。 Filmetricsのすべてのモデルは、分光反射率を正確にモデリングすることで、レジストの厚さ（および屈折率）を測定します。 独自の特殊アルゴリズムにより、堅牢な「ワンクリック」解析が可能で、通常は1秒程度で結果が得られます。 SU-8、Dow BCB、その他の厚膜フォトレジストの測定は、Filmetricsのプロダクトラインナップで人気アプリケーションです。

多孔质シリコン薄膜测定

多孔质シリコンは、光学デバイス、ガスセンサー、生物医学デバイスなど、さまざまな用途で広く使用されています。

业界で注目される多孔質薄膜の測定には、層厚と空孔率が含まれます。 一般的に、質量測定などの非破壊的方法を使用して空隙率を測定しますが、この方法の精度は非常に低いです。 Filmetrics^?贵50では、マウスを1回クリックするだけで、多孔质シリコンの层厚、インデックス、空隙率を明らかにする独自の分析アルゴリズムが含まれています。

半导体プロセスフィルムの测定

Filmetrics^? の製品ラインナップは、非金属半导体プロセスフィルムの厚さと屈折率を测定するための幅広いシステムを提供しています。

Filmetrics F50膜厚マッパーは、膜厚を正確に測定し、ブランケットフィルムのポイントバイポイントを自動的にマッピングします。

当社の特许取得済みの膜厚イメージング技术により、従来の薄膜计测ツールに比べてセットアップが容易になり、レシピが少なくなり、パターン认识がより坚牢になり、コストが大幅に削减されます。

シリコンウェーハおよび膜厚の测定

Filmetrics^?システムには、シリコンウェーハの厚さ测定および膜厚测定用の卓上型、マッピング型、生产用システムが含まれています。一般的に测定されるウェーハ材料には、単一研磨または二重研磨厂颈（シリコン）、サファイア、溶融シリカ、厂颈颁、尝颈罢补翱₃、骋补狈、ガラスが含まれます。

当社の技术専门家が、さまざまな厚さ范囲のニーズやシングルスポット测定と厚さマッピングの要件など、お客様の厚さ测定要件に合った最适な贵颈濒尘别迟谤颈肠蝉ツールを见つけるお手伝いをいたします。