Archer?
??? ?? ???? ?? ?? ???
Archer™ 800 ???? ?? ?? ???? ?? ?? ??? ???? ?? ??? ? ?? ??? ???? ??? ?? ?? ? ???? ??? ?? ??? ???? ?????. ???? ??? ???? ?? ?? ?? ??? Layer? ?? ???? EUV ?????? ??? ?? ?? ??? ??? ???? ??? ???? ???? ???? ? ??? ?????. Archer 800 ??? ?? ???? ???? ?? ?? ?? ??? ??? ???, scanner? ??? high order correction? inline ????? ?? ?? ????? ?????. ?? ????? ??? rAIM® ???? Mark design? ???? Mark? overlay error? device pattern? overlay error?? ????? ???? Lithography engineer? ???? ??? ???? ??? ? ??? ?????.
?? ? ???? ??, ??? ????, ??? ??, ?? ??, Brightfield CD(Critical Demension)
Archer 750
¡Ü7nm ?? ? ?? ??? ?? ??? ???? ??? ??, ?? ???? ???? ?? ??? ?? ?? ??? ??? ?? ??? ?? ???? ?? ?? ???.
Archer 600
?? ???? ? ¡Ü10nm ????? ?? ??? ?? ???? ?? ??????.
Archer 500LCM
2Xnm/1Xnm ?? ??? ??? ?? ?? ?? ?? ??? ? ????? ?? ???? ?? ?????.
Archer 500
2Xnm/1Xnm ?? ??? ?? ??? ?? ???? ?? ??????.
ATL?
?? ?? ? ??? ?? ??? ?? ??? ?? ???? ?? ?? ???.
Archer? Power
??, ?? ? ???, LED, ????, RF, MEMS ? ?? ?? ??? ?? ? ?? ??? ?? ??? ???? ? CD ?? ???.
irArcher?
?? ????(W2W) ?? ?? ??? ?? ???? ?? ???
?? ?? ??? ????
ATL?
???? ?? ???
ATL100?(??? ?? ???) ?? ??? ?? ???? ?? ???? ¡Ü7nm ?? ???? ?? ? ??? ?? ???? ?? ??? ?????. 1nm ???? ??? Homing?? ??? ?? ??? ??? ?? ?? ??? ?? ??? ?? ???? ???? ?????. ATL100? ??? ? ?? ?? ?? ??? ?? ??? ???? ?? ?? ??? ???? ??? ?? ?, ?? ??, ?? ??, ??? ??? ?? ??? ???? ?? ??? ???? ???.
??? ???? ??, ??? ????, ??? ?? ??, ??? ??, ??? ??
Archer?
¡Ü1Xnm ?? ???? ?? ? ??? ?? ?? ???? ???? ??? ???? ??? ?? ???? ?? ??????.
Archer? Power
??, ?? ? ???, LED, ????, RF, MEMS ? ?? ?? ??? ?? ? ?? ??? ?? ??? ???? ? CD ?? ???.
irArcher?
?? ????(W2W) ?? ?? ??? ?? ???? ?? ???.
Archer? Power
???? ?? ???
Archer? Power ? Archer? Power XT ???? ?? ???, ??? ? ?? ????(TMU) ? ?? ???? ?? ?? ??(KPI)? ?? ????, ?? ?? ? ?? ??(HVM) ???? ?? ??? ??? ? ?? ???? ?? ???? ??? ?????. ?? ???? ?? ???? ??? ??? ???? ?? ???? ?? ?? ? ??? Archer Power ???? ?? ??? ??(150mm, 200mm, 300mm, 150/200mm ??? ? 200mm/300mm ??? ??)? ???? ??? ? ???, ??? ??? ?? ? ?? ??(Si, SiC, GaN, GaAs, glass, sapphire ?)? ??? ???? ????? ?????.
Axion?
???? ?? ??(CD) ? ?? ?? ???
Axion? T2000 ???? ?? ?? ???? ?? 3D ?? ? DRAM ??? ?? ???? ?? ??? ??? ??? ???? ???? ????? ???? 3D ?? ??? ???. ???? ???? ??? Axion T2000? ???? ?? ? ??? ??? ? ? ?? ??? ??? ??(???, ??? ???, CD ???, ?? ??, ???, ???? ?)? ?????. Axion T2000? ??? ??? ??? ?? ???? ????? ???? ?? ?? ?? ?? ??? ??? ? ??? ????, FIB-SEM, TEM, ?? SEM? ?? ?? ??? ? ???? ??? ??? ? ????. ?? Axion T2000? ?? ?? ?? ?? ??? ???, ???? ? ???? ? ????, ??? ???? ???? ???? ???? ??? ?????.
?? ??? ? ???, ????? ??, ??? ?? ????, ?? ?? ????, PM(?? ??) ? ?? ?? ?? ??
AcuShape?
Axion ???? ??? ???? ???? ???? ?? ??? 3D ?? ?? ?? ??? ???? ?? ???, ????? ? ?? ????? ??????.
ICON™
?? ??(ML) ???? ??? ??? ??? ??? ????? ???? ? ????? ?? ??????. ICON(Intelligent CONnect)? TurboShape? ???? ? ?? ?? ML ??? ??? ????, ?? Íæż½ã½ã CD ? 3D ?? ?? ???? ?????.
SpectraShape?
?? ? ??? IC ??? ??? ??? ?? ? ????? ? ?? ?? CD ? ?? ?? ??????.
SpectraShape?
?? ?? ??(CD) ? ?? ?? ???
SpectraShape™ 12k ?? ???? ??? ?? ??? ????? ??? ????, finFET, DRAM, NAND ?? ??? ??? CD? 3?? ??? ???? ???? ?????? ? ?????. ?? ??? ????? ???? ????? ??? SpectraShape 12k? ??? ?? ???? ?? ??? ???? ????(?? ??, High-K ? ?? ??? ???, ?? ??, ???? ??, ????? ??, ?? ??, ????? ???? ?)? ??? ??? ?????. SpectraShape 12k? ??? ??? ?? ??? ??? ???? ??? ?? ??? ???, ????? ?? ??? ???? ???? ?? ??? ????? ???? ???? ??? ? ??? ?????.
??? ?? ???, ??? ??, ?? ? ??, ?? ? ??, ?? ?? ??(APC), ????? ??
AcuShape?
SpectraShape ???? ??? ???? ???? ???? ?? ??? 2D ? 3D ?? ?? ?? ??? ???? ?? ???, ????? ? ?? ????? ??????.
TurboShape™
?? ?? ?????? ?? ?? ?? 3D ?? ??? ???? ?? ???? ?? ? ?? ??(?? ?? ??? ??) ?? ??? ?? ???? ???? ???? ??? ???? ???? ?? ??(ML) ?? ??? ????????.
ICON™
?? ??(ML) ???? ??? ??? ??? ??? ????? ???? ? ????? ?? ??????. ICON(Intelligent CONnect)? TurboShape? ???? ? ?? ?? ML ??? ??? ????, ?? Íæż½ã½ã CD ? 3D ?? ?? ???? ?????.
SpectraShape™ 11k
finFET ?? ? ?? ??? IC ????? ??? ??? ??? ? ??? ???? ?? CD ? ?? ?? ?? ???.
SpectraShape™ 10K
1Xnm ?? ? ?? ??? IC ??? ??? ??? ??? ? ?? ?? CD ? ?? ?? ??????.
SpectraShape™ 9010
?? ?? 28nm ???? IC ????? ??? ??? ??? ? ??? ???? ?? CD ? ?? ?? ?? ???.
Axion?
?? 3D NAND ? DRAM ?? ???? ?? ??? ??? 3D ?? ??? ???? X? ?? ?? ??????.
SpectraFilm?
?? ?? ?? ?? ???
SpectraFilm? F10 ? F20 ?? ?? ?? ???? ??? ?? ? ??? ???? ??? ?? ?? ??? ?????. ??? ??? ??? ??? ??? ????? ??? ???? ? ? ??? ??? ?? ???? ??? ??? ? ?? ??? ?????. SpectraFilm F10? 2nm ??? ????? ????? ?? DRAM ??? ?? ???? ??, ???? ??? ???? ?? ?? ?? HKMG ?? ???? ??? ??? ??(Vt) ??? ???? ??? ?? ??? ? ????. SpectraFilm F20? ?? ?? 3D NAND ??? ??? ??? ?? ???? ??? ? ???, ??? ???? ???? ???? ?????. ?????, SpectraFilm ???? ? ????? ???? ?? ???? ??? ??? ???? ???? ??? ? ??? ?????.
??? ????, ????? ??, ??? ?? ???, ?? ???, ?? ?? ??
SpectraFilm F1
SpectraFilm F1 ?? ?? ?? ???? 7nm ?? ?? ???? ???? ???? ?? ??? ?? ??, ???, ??? ??? ? ?? ????? ??? ? ????.
SpectraFilm LD10
SpectraFilm LD10 ?? ?? ?? ???? 16nm ?? ?? ???? ???? ???? ?? ??? ?? ??, ???, ??? ??? ? ?? ????? ??? ? ????.
Aleris?
?? ?? ???
Aleris? ?? ?? ???? 32nm ?? ???? ?? ??, ??? ??, ?? ? ??? ????? ???? ??? ? ??? ???. ??? ?? ?? ?? ???(BBSE) ??? ???? Aleris ?? ?? ???? ???? ?? ?? ?? ? ?? ???? ???? ??? ???? ???? ???? ???? ????? ? ??? ?????.
????? ??, ??? ?? ???, ?? ???, ?? ?? ??
Aleris 8330
Aleris 8330 ?? ?? ???? ?? ? ???, ??????, BARC, ??? ??? ? ???, BEOL ?? ?? ???? ?? ??? ?? ?????, ??? ???? ??? ? ????.
Aleris 8350
Aleris 8350? ?? ??? ??, ??? ?? ? ?? ??? ??? ??? ?? ?? ??? ???? ??? ?? ?? ??????. Aleris 8350 ?? ?? ?? ???? ??? ???, ??? ??? ???, ?? ??????, 193nm ARC ?, ??? ?? ??, CVD ?? ?? ???? ?? ??? ?? ?? ?? ??, ??? ? ?? ??? ?????.
Aleris 8510
Aleris 8510? Aleris ???? ?? ?? ??, ?? ? ?? ?? ??? ?? HKMG(high k metal gate) ? ??? DPN(decoupled plasma nitridation) ?? ??? ?????. ??? 150nm ??? ?? ?? ?? ??? ??? ???? Aleris 8510 ?? ?? ?? ???? ?????? Hf ? N ??? ?? ?? ??? ???? ????? ??? ??? DPN ?? ?? HKMG ?? ?? ? ??? ????? ??? ?? ?? ???? ?????.
PWG?
?? ??? ????(PWG) ?? ???
PWG? ?? ??? ?? ???? ?? 3D ??, DRAM ? ???? ????? ?? ?? ??? ?? ??, ???? ??? ??? ? ?? ?? ??? ??? ?????. ???? ? ??? ?? ?? ??? ?? PWG5?? ???? ?? ??? ?? ??, ??? ???? ?? ?? ???? ??, ??? ?? ??, ??? ?? ? ?? ??? ?????. ?? ??? ?? ??? ???? PWG5? ?? 3D NAND ??? 96 ? ??? ?? ??? ???? ?? ???? ?? ??? ???? ??? ?? ??? ????? ??? ?????. PWG5? ??? ??? ??? ?? ??? ? ?????? ??? ? ????, ???? ???, ??????? ???, ?? ???? ?? ??? ???? ?? Íæż½ã½ã? 5D Analyzer® ??? ?? ????? ??? ?? ??? OPO(on-product overlay)? ???? ???? ?? ??? ???? ? ????.
?????? ????, ??? ????, ????? ???? ??
PWG5? with XT Option
?? ??? PWG5 ?? ??? ???? ?? ???? ??? ?? ? ?? ??? ???? ?? ??? ?? ??? ?? ??? ?? ??? ? ?? ??? ?????.
PWG3?
2X/1Xnm ??? ???? ??? ??? ??? ? ?? ??? ?? ?? ?? ??? ??? ????? ???? 3?? ?? ??? ???? ?? ???
Therma-Probe?
???? ?? ???
Therma-Probe? ?? ????/??? ?? ???? ?? ?? ?? ?? ? ?? ??? ??? ??? ??? ??? ??? ?? ??? ???? ?? ????? ???? ???. Therma-Probe 680XP ? 780? ?? ???? ??? ????, ???? ? ??? ???, ?? ?? ??? ?? ??? ?? ??? ?????. ??, Therma-Probe ???? ???? ???? ??? ?? ???? ? ??? ?? ??? ?? ?? ?? ??? ?????.
????? ??, ??? ?? ???, ? ???, ?? ? ??
Therma-Probe 680XP
Therma-Probe 680XP ?? ???? 2Xnm/1Xnm ?? ???? ?? ?? ? ??? ?? ??? ??? ??? ?? ??? ????? ?????. ?? ???/?? ????? ?? ??? ???? ?? ? ??? ??? ??? ??? ? ?? ??? ???? ?? ?????. Therma-Probe 680XP? ?? ???? ? ??? ?? ??? ?? ???? ?????.
Therma-Probe 780
Therma-Probe 780 ?? ???? <1Xnm ?? ???? ?? ?? ? ??? ?? ??? ??? ??? ?? ??? ????? ?????. ???? ?? ? ?? ?? ?? ??? ?????? Therma-Probe 780? ???? ??? ??, ??? ? AOI, ??? ??? ??? ? ?? ??? ??? ???? ?? ?? ????? ?? ??? ?? ??? ???? ???. ?? Therma-Probe 780? ?? ???(SiC, GaN ?)? ??? ?? ????/??? ?? ????? ?????.
CAPRES microRSP?
Micro-Scale ??? ??
CAPRES A301 microRSP? ?? ???? ??? ??? ??? ???? ??? ? ?? ??? 4? ??? ???? ??, ???? ??? ??? ?? ???? ??? ?? ??? ??? ???? ???? ??? ? ????. CAPRES A301 microRSP? ???? ?? 500nm? ??? ??? ???? ?? ?? ?? ???? ???? 300nm ?? ??? ????? ??? ?? ???? ???? ??? ??? ?? ?? ?????. ??? CAPRES A301 microRSP ?? ??? 300mm ???? ?? ??? ???? ???? ???? ? ????, ?? ?? ?? ? ??? ?? ??? ?? ?? ??? ??? ?? ??? ??? ?? ????. ?? 200mm CAPRES microRSP ??? ?????.
??? ??? ??, ??/CMP/??? ?? ??? ?? ? ?? ????, ?? ?? ??
CAPRES A301 microHALL?
??? 300mm x-y-stage, 300mm ???? microRSP? ?? ???, ??? ??? ???, ????? ?? ???? ? ??? ? ?? ??? ??? ?? ??? ?? ?? ??? ???? ???.
CAPRES M300 microRSP?
??? 300mm X-Y-stage, 300mm ???, ???? ?? ?? ??? ??? ??
CAPRES M201 microRSP?
??? 200mm X-Y-stage, 200mm ???, ???? ?? ?? ??? ??? ??
CAPRES CIPTech?
??/?? ?? ??
CAPRES A301 CIPTech? ? CAPRES M300 CIPTech? ?? ???? MRAM, STTRAM, ?? ?? ?? ? ?? ?? ????? ??? ???? ??? MTJ(?? ?? ??) ??? ?? ??? MR & RA(?? ?? ? ??? ??)? ?? ?????. IBM?? ????? ??? CIPTech?(Current In-Plane ??? ??)? ?? ??? ?? ?? ?? ?? ??? ???? ??? ???? ??? ??? ? ????. CAPRES? ???? nano-MEMS ?? ??? ???? ??? CAPRES A301 CIPTech ??? ? ???/?? CAPRES M300 CIPTech ???? ?? 300mm? ?? ??? ?? ?? ???? MTJ ??? ???? ????? ?????? ??? ? ???? MTJ ??? 12?? ??? ???? ??? ?? ??? ?? ?? ?? ???? ????, CIPTech? CAPRES ?? ?? ???? ?? MR ? RA? ???? ???? ? ?????.
MRAM, ?? ?? ?? ? ?? ?? ??, ?? ??, ?? ?? ??? ?? ?? ??? ?? ??
CAPRES M201 CIPTech?
??? 200mm X-Y-stage, 200mm ???? microRSP? MRAM MTJ ?? ?? ??? ??? CIPTech ??? ???? ???? ???.
CAPRES A301 CIPTech? ROW
??? 300mm x-y-stage, 300mm ???? microRSP? MRAM MTJ ?? ?? ??? ??? ?? ?? ??? ???? ???. ? ???? ??(600mT) ?? ???? ?????.
CAPRES A201 CIPTech? Horizontal
??? 200mm X-Y-stage, 200mm ???? microRSP? MRAM MTJ ?? ?? ??? ??? CIPTech ??? ???? ???? ???. ? ???? ??(150mT) ?? ???? ?????.
MicroSense? PKMRAM
MRAM? 300mm ??? ??? ?? ?? ?? ???
MicroSense? PKMRAM ???? ?? ?? ?? ? ??(MOKE)? ???? ?? MRAM ?? ? ??? ???? ?? ???? ?? ??? ??? ?????. ??? ?? ??? ?? ??? ???? ? ???? ?? 300mm?? ?? ???? ?? ?? ?? ?????. ? ???? ?? ?? ?? ??? ???? ?? ???? ???? ?/?? ?? ?? ??? ??? ? ????. ?? MicroSense ?? ?? ??? ????? ???? ??????? ??? ???? MicroSense PKMRAM ???? ???? ??? ???? ???? ??? ?? ??? ? ?? ? ?? ? ??? ??? ?????.
MRAM? ?? ?? ??? ?? ??, ??? ? ???
MicroSense? KerrMapper
??? ??? ? ??(Magneto-Optic Kerr Effect; MOKE) ???
MicroSense? KerrMapper ?? ???? ??? ??? ? ??(MOKE)? ???? ??? ????, MRAM ? ?? ?? ??? ?? ?? ?? ???? ?? ??? ??? ?????. MicroSense? KerrMapper S300 ? V300 ???? ??? ?? ??? ?? ??? ???? ?? ???? ?? ?? ?? ?????. ? ??? ?? ?? ?? ?? ??? ???? ???? ???? ?/?? ??? ?????. MicroSense ?? ?? ??? ???? ?? ?? ?? ??? ???? MicroSense? KerrMapper ???? ?? ?? ??? ?? ?? ???? ???? ?? ??? ??? ?? ? ?? ? ??? ??? ?????.
?? ?? ??? ?? ??, ??? ? ???. ?? ?? ? ?? ?? ??? ???
OmniMap? RS-200
??? ?? ???
OmniMap? RS-200 ??? ?? ???? ??? ?? ??? ?? ??? ???? 45nm ???? ???? ??? ? ?? ??? ??? ?????. ? ??? ?? ???? ?? ???, ??? ?? ??? ?? ??? ???? ???? 300mm ??? ?? ?? ??? ?????.
?? ???, ?? ???
CIRCL?
?? ?? ??? ?? ??, ?? ? ?? ???? ???
CIRCL? ???? ??? 4?? ??? ??? ???, ?? ??? ??? ???? ???? ?? ??? ?? ?? ????? ?? ??? ??? ?????. ?? CIRCL9 ???? ???? ???? ?? ??? ?? ??, ??? ?? ?? ??, ????, ?? ? ??, ?? ??? ?? ?? ? ??, ??? ?? ??? ?? ?? ? ?? ?? ?????. ??? ??? ??? ?? ??? ???? ???? ??? ?? ??? ??? ???? ???? ?? ??? DirectedSampling?? ?? ?????. ?? ???? ?? ??? ?? ? ?? ??? ?? ?? ?? ??? ?? ? ?? ??? ??? ??? ?????. CIRCL9? ??? ??? ??? ?? ?? ?? ??? ???? ????, ?? ??? ?? ??? ????, ??? ?? ??? ???, ??? ??? ?? ??? ??? ?? ?? ???? ????? ??? ?????.
- 8 Series: ?? ?? ??
- CV350: ??? ?? ?? ??
- BDR300?: ??? ?? ?? ??
- Micro-SR?: ?? ?? ? ??
?? ???, ?? ?? ??(OQC), ?? ???, ?? ???, ?? ?? ???
8 Series
???, ?? ???? ??? ?? ?? ???.
Micro-SR?
???, ?? ??? ? ??? ?? ??? ?? ?? ? ?? ???.
CIRCL?-AP
?? ??? ?? ??? ?? ??? ?? ?? ?? ??? ?? ??, ?? ? ?? ???? ???.
Íæż½ã½ã? OVALiS, 5D Analyzer? ? ?? ??? ? ?? ?? ???? ????? ???? ????? ???? ???? ????.
??? ??? ????? ??? ??????.Íæż½ã½ã? Pro Systems ? Enhancements? ?? ???? ? ?? ?? ???? ???? ?? ?? ??? ? ??? ?? ?? ???? ?????.
??? ??? ????? ??? ???????? ???? ?????
??Are you sure?
You've selected to view this site translated by Google Translate.
Íæż½ã½ã China has the same content with improved translations.
Would you like to visit Íæż½ã½ã China instead?
ÄúÒÑÑ¡Ôñ²é¿´ÓɳҴǴDzµ±ô±ð·Òë·ÒëµÄ´ËÍøÕ¾¡£
°³¢´¡ÖйúµÄÄÚÈÝÓëÓ¢ÎÄÍøÕ¾Ïàͬ²¢¸Ä½øÁË·Òë¡£
ÄãÏë·ÃÎÊ°³¢´¡ÖйúÂð£¿
Íæż½ã½ã ??? ?? My Access? Íæż½ã½ã ????? ?? ?????.