?? ??, ?? ??, ?? ?? ????, ?? ?? ??, ?? ??, ?? ?? ??
_
_ _
_ _
_ ?? ? ?? ???
_Íæż½ã½ã? ???? SensArray? ?? ?????? ?? ?? ??? ??? ??? ?? ??? ?? ? ????? ? ????. ?? ? ?? ?? ???, ??? ??? ? ??? ?? ???? ?? SensArray ??? ??? ??? ???? ???? ??? ??? ?? ???? ??? ?????. ?? ??? ?? ? ?? ???? ?? ???? ?????. ??? ??? ????? SensArray ???? ???? ?? ? ??? ?? ??? ???, ?? ? ?????.
_ _??
___ _
SensArray? Automation
?? ?? ?? ??? ???
SensArray? Automation ???? ?? ?? ??? ?? ?? ??? ???? ??? ???? ??? ????? ???? ???? ??? ??? ?????. SensArray Automation ????? ?? 300mm ?? SensArray ??? ???? AS1000 ??? ?? ??, ???? ?? (OHT) ?? FOUP, ??? ??? ???? ? ??? PC ????? ???? ?? ?? ?? ??? ???? ????. SensArray FOUP? ???? ?????? ???? ?? ? ?? ?? SensArray ??? ??? ? ???, SPC ??? ?? ??? ??? ?? ?? ?? FOUP? ??? ???? ??? ? ????. SensArray Automation? ??? ??? ?? ?? ??? ???, ????? ??? ?? ???? ??, ?????? MES ??????? ?? ?? ??? ?? ??? ??????.
?? ?? ??? ????
Smartwafer?
??? ?? ???
Smartwafer2? ?? ???? ?? ??? ?? ???? ??? ?? ?? ? ???? ?????. ?? ??? ??? ? ??? ?? ???? ?? PC? ???????. ??? ???? ???? ??? ??? ????? ??? ??? ??? ???? ???. ????? ??? ???? ??, ?? ?? ????? ??? ? ?? ??? ??? ?? ?? ?? ??? ???? ??? ??? ?????. ?? 300mm ??? ???? ?? ?? ???? ??? ???? ???? ?? ???? ??? ?? ???? ?? ??? ??? ???? ??? ? ????. ?? ??? ??? ???? ???? ???? Smartwafer2? ?? ? ?????. Automation Loadport? 300mm ???? ??? ?? ??? ?????? ?? ????? ???? ???? ????? ?? ???? Smartwafer2? ??? ? ????. Automation Loadport? AMHS/OHV ? ??? ??? ??? E84 ? ?? SEMI ??? ??? ?? SEMI ??? ?????.
?? ?? ??, ?? ?? ????, ?? ?? ??
EWG Wafer?
??? ?? ???
EWG Wafer? ?? ???? ?? ????? ???? ???? ???? ?????. ?? ??? ??? ?? ??? ?? ? ?????. ?? ??? ??? ???? ?? ???? ???? ??? ?? ??? ?? ???? ???? ???? ??? ?? ??? ??? ?????. ??? ??? XY ???? 1?? ???? ??? ????? ??? 6? ??? Z ????? ???? EWG Wafer? ?? ??? ???? ???? Automation Loadport? ???? ??? ???? ? ????. Automation Loadport? 300mm ???? ??? ?? ??? ?????? ?? ????? ?? ???? ????? ?? ???? EWG Wafer? ??? ? ????. Automation Loadport? AMHS/OHV ? ??? ??? ??? E84 ? ?? SEMI ??? ??? ?? SEMI ??? ?????.
?? ?? ??, ?? ?? ????, ?? ?? ??
RH Wafer?
??? ?? ???
RH Wafer? ?? ???? ?? ?? ??? ???? ?? ???? ?? ??? ?????. ?? ?? ?? ? Smartwafer2? ?? ??? ??? SmartFOUP?? ?? 300mm ?? ??? ???? ?????. ?? ?? SmartFOUP? ?? ?? N2 ? ??? ????? ????, FOUP? ?? ??? ???? N2?? ??? ???????. RH Wafer? ??? SmartFOUP? ?? ???? ????? ?? Automation Loadport ? ?? ?????? ???? ?????. Automation Loadport? 300mm ???? ??? ?? ??? ?????? ?? ????? ?? ???? ????? ?? ???? RH Wafer? ??? ? ????. Automation Loadport? AMHS/OHV ? ??? ??? ??? E84 ? ?? SEMI ??? ??? ?? SEMI ??? ?????. ?? ?????? ??? ?? ?? (SPC) ??? ???? ?? ?? ???? ?? ??? ?????.
?? ?? ??, ?? ?? ????, ?? ?? ??
Integral Implant i3
?? ?? ??? ?? ?? ??? ? (15¡ã ~ 130¡ãC) ?? ???
300mm ? 200mm ???? ???? Integral Implant i3 ?? ?? ??? ??? ?? ?? ???? ?? ?? ??? ?? ??? ?? ????? ?????. Integral Implant i3 ?? ???? ?? ???? ?? ? ?? ??? ?? ??? ????? ?? ?? ????? ?? ?? ?? ?? ? ?? ? ? ???? ??? ??? ? ??? ????? ?????? ?? ?? ?? ?? ? ?? ??? ??? ? ????.
?? ??, ?? ??, ?? ?? ????, ?? ?? ??, ?? ??
?? ?? | 15-130¡ãC
Process Probe? 1530/1535
?? ??? ?? ???? ???
Process Probe? 1530 ? 1535 ?? ???? ???, RTP, ????, CVD, ???? ????? ???? ???? ??? ???? ?? ? ?? ??? ?????? ? ?????. Process Probe 1530 ? 1535? ?? ???? ? ??? ?? ?? ??? ??? ????? ?? ?????. ??? ???? ?? ???? ?? ?? ????? ?? ??? ????? ?? ???? ?? ?? ??, ??? ?? ? ??? ??? ? ????.
?? ??, ?? ??, ?? ?? ??, ?? ?? ??
?? ? ?? ?? ??(1530), ?? ?? ?? ??(1535) | 0-1100¡ãC
Process Probe? 1630
?? ??? ?? ???? ???
Process Probe? 1630 ?? ???? ???? ?? ?? ? ?? CVD ???? ?? ??? ?? ?? ???? ??? ?? ??? ?? ????? ??? ?? ???? ? ????. Process Probe 1630? ???? ?? ????? ??? ? ?? ?? ????? ???? ?? ?? ?? ?? ???? ?? ????? ????? ???? ?? ? ??? ??? ??? ?? ? ?? ??? ??? ? ????.
?? ??, ?? ??, ?? ?? ??, ?? ?? ??
?? APCVD, ?? ?? ???? ?? | 0-800¡ãC
Process Probe? 1730
?? ??? ?? ???? ???
Process Probe? 1730 ?? ???? ???? ??? ?? ???, ?? ?? ??? ? ???, ?? ?? ?? ? ???? ???, ????? ? SOG ?? ???? ??? ?? ????? ??? ?? ???? ? ????. Process Probe 1730? ????? ?? ??? ????? ?? ???? ?? ?? ??? ???? ?? ??? ?????.
?? ??, ?? ??, ?? ?? ??, ?? ?? ??
????? ?? ???, ?? ?? ??? ? ??? ? ?? | -150-300¡ãC
Process Probe? 1840/1850
In Situ ??? ?? ???? ???
Process Probe? 1840 ? 1850 ?? ???? ??? ??? ?? ?? ??? ????, ??? ?? ??? ? ??? ??? ?? ??? ?????. Process Probe 1840 ? 1850? ???? ?? ?? ???? ?? ?? ???? ???? ?? ??? ?? ???? ??? ?? ??? ? ??? ???. Litho ?????? Process Probe 1840 ? 1850? ???? ??? ??? ?? ??? ?? ???? ???? ? ??? ?? ?? ?? Litho ??? ?? ??? ???? ?? ??? ?? ???? ????? ???.
?? ??, ?? ??, ?? ? ??, ?? ? ??
Litho ?? ??? ???(PEB), ??? ??? ??, ??? ??? | 0-250¡ãC (1840), 0-350¡ãC (1850)
?? ???? ?????
??Íæż½ã½ã ??? ?? My Access? Íæż½ã½ã ????? ?? ?????.