Produktbeschreibung
Die Wei?lichtinterferometer Filmetrics Profilm3D und Filmetrics Profilm3D-200 erzeugen hochaufl?sende Messungen der Oberfl?chentopografie mit einer Aufl?sung auf Sub-Nanometerebene. Die Werkzeuge unterst¨¹tzen sowohl vertikal scannende als auch phasenverschiebende Interferometrie. Phase-Shift Imaging (PSI) kann auch mit WLI kombiniert werden, um PSI-Empfindlichkeit ¨¹ber gr??ere Z-Variationen der Oberfl?che zu erm?glichen. Dank der TotalFocus?-Technologie liefert Profilm3D atemberaubende 3D-Bilder in nat¨¹rlicher Farbe, bei denen jedes Pixel im Fokus steht. Die neueste Generation des Wei?lichtinterferometers Profilm3D bietet verbesserte Rauheitsbildgebung zur Messung rauerer Oberfl?chen, h?herer Neigungen und Oberfl?chen mit geringerer Reflexion.
Bei der Profilm3D-Messmethode ist die vertikale Aufl?sung der Messung unabh?ngig von der numerischen Apertur des Objektivs, was hochaufl?sende Messungen mit einem gro?en Sichtfeld erm?glicht. Der gemessene Bereich kann weiter erh?ht werden, indem mehrere Aufnahmen zu einer einzigen Messung zusammengef¨¹gt werden. Das Profilm3D-Optikprofilometer verf¨¹gt au?erdem ¨¹ber eine einfache, innovative Benutzeroberfl?che und automatisierte Funktionen, um eine breite Palette von Arbeitsumgebungen zu unterst¨¹tzen, von Forschung und Entwicklung bis hin zur Produktion.
Merkmale
- Vertikales Scannen und phasenverschiebende Interferometrie zur Messung von Oberfl?chenmerkmalen von Nanometern bis Millimetern.
- TotalFocus 3D-Bildgebung mit optimiertem Fokus f¨¹r jedes Pixel ¨¹ber den gesamten Messbereich.
- True-Color-Imaging erzeugt die tats?chlichen Probenfarben f¨¹r eine verbesserte Visualisierung, insbesondere f¨¹r feine oder verborgene Merkmale.
- Enhanced Roughness Mode (ERM) erh?ht den Randkontrast f¨¹r bessere Bildtreue auf geneigten Oberfl?chen wie Objektiven und erm?glicht eine Signalverbesserung f¨¹r raue Oberfl?chen.
- Automatisierter Fokus mit branchenf¨¹hrender langer Piezo-Reichweite f¨¹r das Scannen mehrerer Oberfl?chen, die durch gro?e H?henabst?nde getrennt sind.
- Automatisierter X-Y-Tisch mit langer Reichweite, ideal f¨¹r Kartierungen und Stitching-Scans
Anwendungen
- Stufenh?he: 3D-Stufenh?he von Nanometern bis Millimetern
- Textur und Form: 3D-Rauheit, Welligkeit, Verw?lbung und Form
- Texturcharakterisierung
- Kanten-Roll-Off: 3D-Kantenprofilmessungen
- Fehlerpr¨¹fung: 3D-Topografie von Fehleroberfl?chen, Fehlercharakterisierung
- Hochaufl?sende Scans ¨¹ber gro?e, transparente Filmoberfl?chen
- Hohe Rauheit, geringe Reflexionsf?higkeit, Kratzercharakterisierung
Branchen
- Universit?ten, Forschungslabore und Institute
- Silizium und Verbundhalbleiter
- Pr?zisionsoptik und -mechanik
- Medizinische Ger?te
- LED: Leuchtdioden
- Stromversorgungsger?te
- MEMS: Mikroelektromechanische Systeme
- Datenspeicherung
- Automobilindustrie
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