Axion? T2000: ?? ????? ?? ???? ?? | Innovation

Axion^? T2000: ?? ????? ?? ???? ??

12? 6?, 2022 1 min read

玩偶姐姐? ??? Axion^? T2000 ?? ???? ????? ??? ??????. ? ???? ?? ?? ???? ??? ?? ???? ??? ?? ??? ??? ? ????.

?????? ??? ?? ?? ????? ??? ?? ?? ??? ??? ? ???? ????? ?????? ?? ??? ??? ????? ?? ??? ? ? ????. ??? ?? ??? ????? ?? ?? ? ?? ?? ?? ? ???? ?? ???? ???? ???? ????.

????? ????? ?? ???? ?? ??? ?? ?? ??? ??? ? ??? ?? ????? ?????. ??? ? ????? ?? ?????? ???? ?? ?? ????? ??? ???? ???? ??? ? ?? ??? ??? ? ????. ?? ?? 3D ?? ???? ??? ?? ? ??? ???? ?? ? ?? ???? ???, ?? ??? ?? ??? ???? ?? ?? ?? ??? ??? ??? ? ??? ?????.

??? ?? ???? ??? ? ??? ???? (HAR) ?? ??? ?????. ??? ??? ??? ?? ?? ?? ?? ?? ?? ?? ?? ??????. ?? ??, ?? ?? ??? 65~100nm ?? ?? 10?m ??? ?? ??? ?? ???? ???? 100:1 ??? ???? ? ? ????. ??? HAR ??? ?? ???? ???? ??? ?? ??? ?? ?? ???? ????? ???.

??? ?? ??? ???? ???? ??? ???? ?? ???? ???? ?? ??? ?? ???? ??? ???? ??, ?? ????? ?????. ????? ????? ??? HAR ??? ?? ?? ?? ?? ???? ?? ??? ?????. ???? ?? ?? ??? ?? ??? ????? ??? ??? ???? ??? ?? ???? ???? ?????.

*3D ?? ??? ?? ? ? ?? ? ???? (HAR) ??? ?????.*

A Unique X-Ray Metrology Solution

Axion T2000? ??? ???? ?? ?????, CD-SAXS(critical dimension small angle X-ray scattering) ??? ???? ?? ???? ??? ? ??? ?????. ??? ??? ??? ?? ??? ?? ??? ?? ???? ???? ??? ???? ???? ????? ?????. ????? ???? ???? ??? ?? ???? ?? ??? ???? ??? ???? ?? ??????. ?? ??? ?? ??? ?? ???? ????? ?? ???? ????? ????? ???? ???? ??????. ???? ?? ?? ??? 3D ???? ??? ??????. 玩偶姐姐? ?? ??? AcuShape^? ??? ?????? ??? ???? ???? ??? ? ???? ??? ??? ?? ? ?? ??? ?? ??? ??? ??? ?? ?? ??? ?????.

???? ??? ?? Axion T2000? ????, ????, ?? ?? ? 3D ?? ??? ???? ?? ?? ??? ??? ?? ???? ?? ??? ???? ? ??? ?? ??? ?????. Axion T2000? ??? ??? ??? ??? 3D NAND ?? ? ?? ??, ???, ??? ? ?? ???? ? ????, ?? ??, ??? ? ??? ??? ????. Axion? ??? ???? ???? ?????? ?? ??? ?? ???? ????. ???? ?? Axion T2000? ?? ?? ??? ???? ?? ????, FIB-SEM, TEM ? ?? SEM? ?? ????? ?? ??? ?? ??? ?? ???? ????. ?? ????? ??? ??, ?? ?? ? ??? ???? ???? ? ??? ???? ?? ?? ??? ?????. ???? Axion T2000? ?? ?? ??? ????? ?????? ???? ??? ? ??? ??? ??? ??? ???? ???? ?????.