Produktbeschreibung
Die automatisierten Schichtdickenmesser F54-XY-200 und F54-XY-300 von Filmetrics messen strukturierte und nicht strukturierte Proben mit einem Durchmesser von bis zu 200 mm bzw. 300 mm. Proben k?nnen mithilfe eines fortschrittlichen spektralen Reflexionssystems und branchenf¨¹hrenden Filmetrics-Algorithmen einfach kartiert werden.
Das kompakte System erm?glicht pr?zise Messpositionierung in Produktionsanwendungen. Ein motorisierter X-Y-200-Messtisch bewegt sich automatisch zu festgelegten Messpunkten und liefert Ergebnisse mit bis zu zwei Punkten pro Sekunde. Messungen von 300-mm-Wafern werden durch den zus?tzlichen Hochleistungsrotationstisch in der Konfiguration F54-XYT-300 unterst¨¹tzt.
Produktmerkmale
- Unterst¨¹tzt die Messung sowohl strukturierter als auch nicht strukturierter Proben
- Wellenl?ngenkonfigurationen decken 190 ¨C 1700 nm
- minimaler Messpunkt von 5 ¦Ìm
- Autofokus und Mustererkennungsf?higkeit
- Geh?usesperre
- Live-Videobild Platz
- f¨¹r runde Proben mit bis zu 300 mm Gr??e
- Benutzerdefinierte Probe Punktzuordnung mit rechteckigen, linearen, polaren und benutzerdefinierten Konfigurationen
- Manuelles oder automatisches Deskewing
- Ausgefeilte History-Funktion zum Speichern, Reproduzieren und Darstellen von Ergebnissen
- Integrierte Reflexions- und Schichtdickenstandards
- Umfassende Materialbibliothek und fortschrittliche Modellierungsalgorithmen
- Telefon-, E-Mail- und Online-Support rund um die Uhr (Mo¨CFr)
Anwendungen
- Mikrospotmessung f¨¹r strukturierte und nicht strukturierte Oberfl?chen
Branchen
Halbleiterfertigung
- Halbleiterprozessfilme
- Verbundhalbleiterfilme
- Fl¨¹ssigkristallanzeigen (LCDs)
- Optische Beschichtungen und elektrooptische Filme
- Biomedizinische Filme und medizinische Ger?te
- MEMS
Weitere Informationen finden Sie auf der Registerkarte Branchen.
