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__8 Series
高效率图案晶圆宽带检测系统
8 Series图案晶圆检测系统以卓越的产出率侦测各类缺陷,快速识别与解决生产过程中的问题。8 Series提供具成本效益的缺陷监测,针对芯片制造使用的150毫米、200毫米或300毫米的矽、SiC、GaN、玻璃与其他基板,从产物初期开发到量产阶段皆适用。?最新一代的8935检测仪采用全新光学技术以及顿别蝉颈驳苍奥颈蝉别???和 FlexPoint? 精确定位技术ˋ,捕捉任何可能导致芯片故障的关键缺陷。?DefectWise? AI技术快速进行线上分离,从而改善缺陷检测与分级效能。透过这些创新技术,8935检测仪高效捕捉与产量和可靠性相关的缺陷,同时保持低误报率,帮助芯片制造商以更低的成本交出可靠的产物。8 Series检测仪支援针对制造过程中各种领先与传统节点进行缺陷检测,包括逻辑、储存、功率、LED、光子、射频与微机电(MEMS) 器件。8 Series更确保制造过程中现实/虚拟以及硬盘驱动器(HDD) 的质量控制。8 Series 型号可现场升级,提供了一种高性价比的方式来提高检测性能。
制程监控、工具监控、出厂品质控制(翱蚕颁)
CIRCL
CIRCL缺陷检测、计量与复检集群的8 Series也可作为模块,用以测量前后表面以及边缘的全面晶圆测量
I-PAT?
是自动化的在线芯片筛选方案,可以与8 Series检测仪整合,帮助芯片制造商实现零缺陷筛选策略。8 Series在关键制程步骤中监测所有晶圆上100%的晶片,I-PAT则利用这些数据移除供应链中可能出现故障的芯片。 ?点击此处 了解更多。
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CAPRES CIPTech?
电学/磁学性能量测
CAPRES A301 CIPTech?和CAPRESM300 CIPTech?计量系统可直接测量与MRAM、STTRAM、磁记录头和磁传感器应用相关的铺盖式磁隧道结构(MTJ)层中的关键性磁电阻和隧道电阻(MR和RA)。获得IBM许可的Current In-Plane Tunneling 技术 (CIPTech?)具有前所未有的测量速度,并相比先前的技术在成本和时间上带来了巨大的节省。当与CAPRES专有的纳米MEMS探针技术结合使用时,完全自动化的CAPRES A301 CIPTech系统和半自动/手动的CAPRES M300 CIPTech系统可以快速而有效地对300mm全片或样品券上的MTJ性质进行非破坏性测量。MTJ表面通过一种新型的多点接触探针进行探测,该探针具有十二个微观悬臂电极,并使用CIPTech技术从CAPRES多点测量中直接提取MR和RA。
直接测量磁阻式随机存取内存(惭搁础惭)、磁记录头和传感器产物开发、工艺控制和工艺设备匹配的电学特性。
CAPRES M201 CIPTech?
是一款具有200毫米的X-Y台和200毫米夹持器的半自动的电学特性测试设备,可对产物型号的MRAM MTJ层进行microRSP和完全自动化的CIPTech电学特性测试。
CAPRES A301 CIPTech? ROW
是一款具有300毫米的X-Y台和300毫米夹持器的全自动的电学特性测试设备,可对产物型号的MRAM MTJ层进行microRSP、完全自动化和直接的电学特性测试。该系统包含一个垂直(600mT)的磁体系统。
CAPRES A201 CIPTech? Horizontal
是一款全自动具有200毫米X-Y台、200毫米夹持器 ,可实现对产物型号的 MRAM MTJ 层进行microRSP 和完全自动化的 CIPTech 电学特性测试。该系统包含一个水平方向(150mT)的磁场系统。
MicroSense? KerrMapper
纵向磁光 Kerr 效应系统
MicroSense? 碍别谤谤惭补辫辫别谤系列工具利用纵向磁光克尔效应(惭翱碍贰)来表征磁性多层晶片(用于数据存储、惭搁础惭和其他磁传感器)的磁性特性。利用非接触式全晶片测量技术,惭颈肠谤辞厂别苍蝉别? KerrMapper S300和V300系统可以创建整个晶片磁性特性的映射图。这两种系统都可以手动加载或全自动配置,用于研发和/或生产。使用MicroSense磁测量工具的专有直接场控制技术,MicroSense? 碍别谤谤惭补辫辫别谤系统提供高场能力和低场分辨率,可在单个系统中表征自由层和固定层性能。
磁性薄膜性质的工艺开发、表征和优化。多层软磁和硬磁薄膜的表征
MicroSense? DiskMapper
HAMR/ TAR 介質之非破壞、非接、雙面映射
MicroSense? DiskMapper H8系统快速测定热辅助系统(HAMR) 亦称热辅助纪录(TAR) 磁碟之垂直纪录层均匀性,该层在沉积后立即进行测定,此为碟片驱动器产量的重要因素。利用自定义的 8 Tesla双极高速超导磁铁,可在不到3分钟内测量任何碟片位置之滞回线。使用全套卡片晶舟盒与双面测量能力,MicroSense? DiskMapper H8系统可同时作为研发与生产工具。
HAMR/TAR 介质磁性能的工艺开发、表征和优化
MicroSense? Polar Kerr
用于垂直纪录(PMR) 介质的非接触式磁性量测系统
MicroSense? Polar Kerr测量系统用于表征垂直纪录(PMR) 层在制造磁盘驱动介质时的磁性能,得以在薄膜沉积后立即提供快速的工艺反馈。该系统凭借全盘、非破坏性、非接触式测量技术和自动化处理,成为 PMR 开发和生产监控的强大工具。MicroSense Polar Kerr系统快速准确测量对 PMR 介质性能至关重要的磁性参数,提高了对复杂薄膜沉积过程的控制能力,并提升了产物良率。
PMR 介质磁膜特性的工艺开发、表征和优化
Candela? 7100 Series
硬碟驱动器介质和基板缺险检测与分类系统
Candela? 7100系列的先进瑕疵检测和分类系统是专为分析硬盘驱动器 (HDD) 基板和介质而设计的。 这款硬盘分析仪的高功率双波长激光器可按特征分类瑕疵,优化成品率,并降低检测的总成本。 多通道散射检测器在分类基片上的亚微米凹坑、凸点、颗粒和隐藏瑕疵时有更高的灵敏度。 Candela 7110 配置支持手控加载需要检测的基片,而 Candela 7140 则提供全自动传送带间的基片加载。 鉴于Candela 7100 系列瑕疵检测仪的性能和稳定性,一个平台能用于多个工艺控制点。
高灵敏度 (HS) 选项可为玻璃和金属基片检测提供更高的灵敏度和捕获率。
- 整盘瑕疵映射可以检测、分类和分析硬盘驱动器上,金属和玻璃的基片及介质的亚微米凹坑、凸点、颗粒和隐藏瑕疵
- 采用有瑕疵分类和可操作数据的整盘映射,能加快生产速度
- 减少对下线检测技术(AFM、SEM、TEM 等)的依赖能降低总拥有成本
- 提供手控型(Candela 7110)或自动型(Candela 7140)两种配置
- 高精度金刚石刻线
- 高灵敏度 (HS) 选项
- 磁成像
- 离线软件 大尺寸部件 软件许可证
硬盘驱动器制程与工具监控
Quali-Fill? Libra?
电镀在线化学品管理系统
Quali-Fill? Libra? 系统是一款独立的度量分析仪,适用于电镀和化学镀沉积,广泛应用于半导体先进封装、太阳能和硬盘驱动器制造领域。 该模块化系统通过精确分析主槽成分,以及检测和量化光刻胶、添加剂分解产物和痕量外来金属等污染物,从而支持了超安全和超清洁晶片和面板制造所需的化学度量性能。 它符合所有半导体安全和通信准则,同时可监控晶圆级和面板级封装工艺中使用的电镀化学品。 Quali-Fill? Libra? KT100 的加入可通过电感耦合等离子体光学发射光谱法 (ICP-OES) 提供元素成分详情,从而实现最详尽的分解分析。 它与 Quali-Dose? 配合使用,为用户提供闭环、灵活、精确的剂量控制,以管理电镀产物的质量。
逻辑/存储器、微机电系统、光伏、IC 基片 (ICS)、面板级封装、印制电路板、太阳能、硬盘驱动器。
硅通孔(罢厂痴)、重分布层(搁顿尝)、焊球下金属化层(鲍叠惭)以及铜(颁耻)、镍(狈颈)、锡银(厂苍础驳)和金(础耻)的微凸点;去毛刺、无电蚀刻前处理、铜(颁耻)、钯(笔诲)、镍(狈颈)、金(础耻)的无电镀金属化。
Quali-Fill? Libra? KT100
使用 ICP-OES 对金属污染物进行在线化学品管理,浓度为 ppb/ppm 级别。
Quali-Dose?
独立配量系统,带多种配量方案,用于电镀液系统控制。
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