太阳能晶圆监控、工具监控、太阳能晶圆分拣
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Products
MicroSense? PV-6060
非接触式光伏测量模块
MicroSense? PV-6060光伏剂量模块提供高精准度以及无可比拟的产出率，用于太阳能晶片厚度、晶片总厚度变化（TTV) 和晶片电阻率之在线测量。MicroSense PV-6060具有高稳定性与低噪音，期先进的非接触式电容传感器提供亚米级分辨率和可重复的厚度测量。MicroSense PV-6060系统采用模块化设计，可轻松灵活集成至自动化晶片传输系统中，供原始设备制造商（OEM) 用于制造再现太阳能晶片检验和分选系统。
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Quali-Fill? Libra?
电镀在线化学品管理系统
Quali-Fill? Libra? 系统是一款独立的度量分析仪，适用于电镀和化学镀沉积，广泛应用于半导体先进封装、太阳能和硬盘驱动器制造领域。 该模块化系统通过精确分析主槽成分，以及检测和量化光刻胶、添加剂分解产物和痕量外来金属等污染物，从而支持了超安全和超清洁晶片和面板制造所需的化学度量性能。 它符合所有半导体安全和通信准则，同时可监控晶圆级和面板级封装工艺中使用的电镀化学品。 Quali-Fill? Libra? KT100 的加入可通过电感耦合等离子体光学发射光谱法 (ICP-OES) 提供元素成分详情，从而实现最详尽的分解分析。 它与 Quali-Dose? 配合使用，为用户提供闭环、灵活、精确的剂量控制，以管理电镀产物的质量。
逻辑/存储器、微机电系统、光伏、IC 基片 (ICS)、面板级封装、印制电路板、太阳能、硬盘驱动器。
硅通孔（罢厂痴）、重分布层（搁顿尝）、焊球下金属化层（鲍叠惭）以及铜（颁耻）、镍（狈颈）、锡银（厂苍础驳）和金（础耻）的微凸点；去毛刺、无电蚀刻前处理、铜（颁耻）、钯（笔诲）、镍（狈颈）、金（础耻）的无电镀金属化。
Quali-Fill? Libra? KT100
使用 ICP-OES 对金属污染物进行在线化学品管理，浓度为 ppb/ppm 级别。
Quali-Dose?
独立配量系统，带多种配量方案，用于电镀液系统控制。
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